点击图片查看原图P-562.6CD PIMars六轴压电平台系统
六自由度高精度纳米定位系统
| 杨文辉 QQ：2850590598 手机：18301216381 电话：010-64717020-118 传真：010-84786709-666 邮件：sales11@handelsen.cn |
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§ 6个运动轴：3个为线性，3个为旋转
§ 行程达200微米（线性）和1毫弧度（偏 摆角）
§ 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度
§ 电容式传感器带来最高线性度
§ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统
§ 优异的扫描平面度
§ 通孔尺寸66 毫米×66 毫米
§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命
§ 超高真空兼容至10-9百帕
应用领域
· 扫描显微镜
· 超分辨率显微镜
· 生物技术
· 掩模/晶圆定位
· 样本定位
· 干涉测量
· 计量
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
订购信息
P-562.6CD PIMars6轴纳米定位系统，200微米，1毫弧度，平行计量
可按需提供其他行程。
P-587 六轴精密压电平台
长行程，直接位置测量
§ 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 扫描
§ 线性行程为800 微米×800 微米×200 微米
§ 最大旋转角度达1微弧度
§ 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度
§ 电容式传感器带来最高线性度
§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命
§ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统
§ 六 自由度主动补偿
应用领域
· 干涉测量
· 计量
· 纳米压印
· 半导体测试
· 半导体制造
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
订购信息
P-587.6CD
带长行程的六轴纳米定位系统，800微米 × 800微米 × 200微米，±0.5毫弧度，平行计量，电容传感器